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9-1
臺(tái)式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經(jīng)過(guò)2-3個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng),電子束會(huì)聚成孔徑角較小,束斑為5-10nm的電子束,并在試樣表面聚焦。末級(jí)透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子,背反射電子,X射線等信號(hào)。這些信號(hào)分別被不同的接收器接收,經(jīng)放大后用來(lái)調(diào)制熒光屏的亮度。由于經(jīng)過(guò)掃描線圈上的電流與顯像管相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步,...
8-10
場(chǎng)發(fā)射電鏡采用了肖特基場(chǎng)發(fā)射電子(SFE)源。其特點(diǎn)是:探針電流大,容易進(jìn)行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小,場(chǎng)發(fā)射電鏡加速電壓0.1-30kV,且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低,像差也隨著降低。從而在降至100V時(shí),也有水平的分辨率,在30KV時(shí)具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉,降低了電子束電子之間的靜電庫(kù)倫作用,避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時(shí),...
8-3
應(yīng)用各種礦物學(xué)原理與方法,通過(guò)礦物的光、電、聲、熱、磁、重、硬度、氣味等以及其主要的化學(xué)成分特征,對(duì)巖石、礦物樣品、包括光(薄)片、砂片、碎屑、粉末進(jìn)行觀察、鑒定以區(qū)別其礦物類(lèi)別,以及研究巖石、礦石的主要礦物組成、礦物成生序列,結(jié)構(gòu)、構(gòu)造、巖(礦)石類(lèi)型的技術(shù)方法,稱(chēng)為巖礦分析(鑒定)。巖礦分析系統(tǒng)現(xiàn)今已經(jīng)可以準(zhǔn)確地確定礦物微區(qū)化學(xué)成分、內(nèi)部結(jié)構(gòu)、晶系,晶胞參數(shù)等,對(duì)礦物表面進(jìn)行的精細(xì)掃描,已可精密測(cè)量礦物表面元素組成、價(jià)態(tài)、表面形貌,并繪出礦物的三維圖像(地球科學(xué)辭典)。地...
4-8
SEM掃描電鏡是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信號(hào),這些信號(hào)經(jīng)檢測(cè)器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號(hào),在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍大、連續(xù)可調(diào)、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡(jiǎn)單等特點(diǎn),是進(jìn)行樣品表面研究的有效分析工具。通過(guò)本實(shí)驗(yàn)學(xué)習(xí),了解掃描電鏡基本機(jī)構(gòu),掌握掃描電鏡的基本使用方法和使用過(guò)程中的注意事項(xiàng)。SEM掃描電鏡圖像襯度觀察:1.樣品制備掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)之一是樣品制備簡(jiǎn)單,對(duì)于新鮮的...
3-9
臺(tái)式掃描電鏡體積小、重量輕、壽命長(zhǎng)、功率損耗小、機(jī)械性能好,因而適用的范圍廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過(guò)程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工作,會(huì)造成表面的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化,所以幾乎每一個(gè)步驟都需要對(duì)擴(kuò)散進(jìn)行檢測(cè),深度進(jìn)行測(cè)繭或者直接看到擴(kuò)散區(qū)的實(shí)際分布情況,而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此。目前,臺(tái)式掃電鏡在半導(dǎo)體中的應(yīng)用已經(jīng)深入到許多方面。臺(tái)式掃描電鏡利用柬感應(yīng)電流(EBIC)像和吸收電...
2-23
超高壓XRD分析手段有2種,分單晶X射線衍射法,多晶X射線衍射法。對(duì)應(yīng)地,所用的XRD設(shè)備,也分為單晶衍射儀和多晶衍射儀。物相,簡(jiǎn)稱(chēng)為相,它是有某種晶體結(jié)構(gòu)并能用化學(xué)式表征其化學(xué)成分(或有一定的成分范圍)的固體物質(zhì)?;瘜W(xué)成分不同的是不同的物相,化學(xué)成分相同而內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同的,也是不同的物相。例如,同樣是鐵,它能以晶體結(jié)構(gòu)為體心立方結(jié)構(gòu)的Fe、也能以面心立方結(jié)構(gòu)的Fe、還能以體心立方結(jié)構(gòu)的高溫Fe,這3種物相形式存在。X射線的性質(zhì):1)物理作用,使某些物質(zhì)發(fā)出熒光一可見(jiàn)光,用于熒...
1-11
當(dāng)一束單色X射線照射到晶體上時(shí),晶體中原子周?chē)碾娮邮躕射線周期變化的電場(chǎng)作用而振動(dòng),從而使每個(gè)電子都變?yōu)榘l(fā)射球面電磁波的次生波源。所發(fā)射球面波的頻率與入射的X射線相一致。基于晶體結(jié)構(gòu)的周期性,晶體中各個(gè)原子(原子上的電子)的散射波可相互干涉而疊加,稱(chēng)之為相干散射或衍射。X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象,實(shí)質(zhì)上是大量原子散射波相互干涉的結(jié)果。每種晶體所產(chǎn)生的衍射花樣都反映出晶體內(nèi)部的原子分布規(guī)律。X射線衍射儀XRD主要部件包括4部分:(1)高穩(wěn)定度X射線源提供測(cè)量所需的X射線,改變X...
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